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品牌：日本 Motoyama（本山）SXN 系列軟 X 射線靜電消除離子發(fā)生器，屬于光電離式除靜電設備，面向超高潔凈無塵室，用于半導體、顯示面板精密制程 ESD 防護モトヤマ。
不需要壓縮空氣、風扇吹氣；離子直接在被除靜電物體周邊生成，無氣流擾動產(chǎn)品。
區(qū)別傳統(tǒng)電暈放電離子風機：無放電針、無高壓火花、不產(chǎn)生金屬粉塵、零臭氧。
| 項目 | SXN?10V | SXN?102V | SXN?104V |
|---|---|---|---|
| 控制器 | SXC?10T | SXC?102T | SXC?104T |
| 照射頭 | SXH?10V ×1 臺 | SXH?10V ×2 臺 | SXH?10V ×4 臺 |
| 輸入電源 | AC100?240V 50/60Hz | AC100?240V 50/60Hz | AC100?240V 50/60Hz |
| 整機功耗 | 23W | 40W | 50W |
| 單照射頭重量 | 0.29kg | 0.29kg | 0.29kg |
| 控制器重量 | 0.52kg | 1.14kg | 1.64kg |
| 冷卻方式 | 自然冷卻 | 自然冷卻 | 自然冷卻 |
| 離子發(fā)生方式 | 軟 X 射線照射 | 軟 X 射線照射 | 軟 X 射線照射 |
說明：三個型號照射頭本體一致，差異僅為控制器可驅(qū)動照射頭數(shù)量；單頭照射角度 150°，可多照射頭組合覆蓋大面積工位。
離子平衡 ±0V
軟 X 射線光電離天然生成等量正負離子，不會出現(xiàn)傳統(tǒng)電暈機的離子漂移、反向充電損傷器件，對高靈敏芯片、OLED 薄膜友好。
超高潔凈，無二次污染
無放電電極，不會析出金屬微粒；無臭氧生成，適配 Class1 級無塵室，杜絕顆粒吸附造成的產(chǎn)品不良。
無氣流干擾
不依靠風機 / 壓縮空氣輸送離子，不會吹動超薄薄膜、晶圓、薄片工件，適合真空腔體、小型機臺內(nèi)部狹小空間安裝。
高速除靜電
±1000V 衰減至 ±100V，近距離 0.5s 即可完成中和；距離增加除靜電時間隨之變長，最大有效工作距離約 1400mm。
低維護設計
無電極清潔、無針體更換；僅軟 X 射線管有使用壽命，設備自帶計時，壽命臨近自動報警提示更換 X 射線管，具備報警信號外部輸出接口，可對接產(chǎn)線 PLCモトヤマ。
可在惰性氣體環(huán)境工作
氮氣、氬氣氛圍腔體內(nèi)部同樣可實現(xiàn)除靜電，適配半導體腔體工藝。
SXN?10V（單頭）
適合單點、小范圍工位：晶圓載臺、探針臺、小型模組組裝、機臺內(nèi)部狹小腔室；單點局部除靜電，安裝靈活，體積小巧。
SXN?102V（雙頭）
適合中等面積區(qū)域：基板搬運、中小型 OLED 玻璃、物料傳送軌道；雙照射頭可并排 / 錯位布置，擴大除靜電覆蓋范圍。
SXN?104V（四頭）
適合大面積產(chǎn)線：大尺寸 LCD/OLED 基板、多工位同步除靜電；一臺控制器集中管控 4 個照射頭，減少控制器數(shù)量，降低布線與設備占用空間。
選型關鍵點：照射頭性能一樣，優(yōu)先看需要覆蓋的除靜電區(qū)域面積；可以單控制器多頭部署，簡化產(chǎn)線控制。
半導體制造：晶圓光刻、蝕刻、離子注入、封裝測試，防止 ESD 擊穿芯片，避免微粒吸附晶圓表面造成缺陷濱松光子學...。
顯示行業(yè) LCD/OLED：玻璃基板搬運、偏光片貼合、柔性膜加工，薄膜不會被氣流擾動，消除靜電吸附灰塵造成亮點不良。
精密電子：光學膜、FPC、PCB、傳感器組件生產(chǎn)。
特殊腔體環(huán)境：氮氣置換腔、小型真空腔體內(nèi)部靜電消除。
潔凈等級遠高于電暈放電離子設備，零顆粒、零臭氧；
離子平衡穩(wěn)定，幾乎無反向充電風險；
無氣流擾動，超薄 / 輕質(zhì)工件制程不可替代；
維護量極低，不用頻繁清洗電極；
支持惰性氣體腔體內(nèi)部使用。
軟 X 射線輻射風險：設備自帶屏蔽，但需要遵守輻射安全規(guī)范，設備外殼不可隨意拆除，人員不能長時間直接暴露照射窗口；需要做設備防護評估。
X 射線管屬于消耗件，達到壽命周期必須更換，存在耗材成本。
除靜電效率隨距離衰減明顯，距離越遠中和速度下降，不能無限拉大工作距離。
設備采購成本高于普通電暈離子風機。
| 對比項 | SXN 系列軟 X 射線離子發(fā)生器 | 普通電暈離子風機 / 離子棒 |
|---|---|---|
| 離子產(chǎn)生 | 軟 X 射線光電離 | 高壓放電電離空氣 |
| 臭氧 | 0ppm | 產(chǎn)生臭氧 |
| 顆粒污染 | 無，無電極析出 | 放電針氧化析出金屬顆粒 |
| 離子平衡 | 固有 ±0V，長期穩(wěn)定 | 隨電極老化漂移，需定期校準 |
| 氣流影響 | 無，不需要吹風 | 依靠氣流輸送離子，會吹動薄膜工件 |
| 維護 | 僅定期更換 X 射線管 | 每周清潔、定期更換放電針 |
| 適用潔凈等級 | Class1 無塵室 | Class1000 及以上 |
照射窗口不可遮擋，遮擋會大幅降低除靜電效果；
嚴格控制照射距離，根據(jù)產(chǎn)品需求布局照射頭，不要超距離使用；
不可拆除設備屏蔽殼體，安裝位置避開人員長期停留區(qū)域；
利用報警輸出接入產(chǎn)線，X 射線管壽命到期及時更換，防止除靜電失效。
