濺射儀SC-701MkII 介紹

發布日期：2024-01-31      瀏覽次數：1081

濺射儀SC-701MkII 介紹

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規格緊湊型鍍膜機。



特征

• DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。

• 配備皮拉尼真空計，確保成膜條件的再現性

• 標準配備手動快門

• 使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。

• 可以進行鎢涂層，因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結果示例

• 將電極膜粘貼到各種設備上

• 用于反射薄膜生產等。

基本規格

陰極	φ2英寸直流磁控管/扁平電極
適用對象	Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
壓力測量	皮拉尼真空計
壓力控制	帶針閥手動控制 入口直徑 φ6mm 一觸式接頭
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯旋轉泵：20L/min（帶自動泄漏）
腔室尺寸	內徑φ90×D90mm（SUS材質）
樣品交換方式	前門開閉方式
尺寸（寬/深/高）	機身：160/450/290mm 轉速：295.5/156/199.5mm
重量	本體：9kg RP：9kg